RFスパッタリング法

	スパッタリング装置で製膜をします。
	まずサンプルと基板とフォルダーを用意します。
	フォルダーに基板をセットします。
	スパッタリング装置のチャンバーにフォルダーをセットします。
	スパッタリング装置のカソードにサンプルをセットします。
	製膜中のプラズマの様子です。
	薄膜の出来上がりです。あとは種々の測定を行います。